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                      • VPO-300快速退火爐

                        VPO-300快速退火爐 快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。

                        更新時(shí)間:2020-10-31

                        廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商

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                      • RTP-150快速退火爐

                        RTP-150快速退火爐 升溫速度:150攝氏度每秒,可以用于大6英寸晶圓或者156mm x 156mm尺寸樣品熱處理。RTP-150可以支持惰性氣體保護、低真空或高真空熱處理。

                        更新時(shí)間:2020-10-31

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                      • RTP-100快速退火爐

                        RTP-100快速退火爐 升溫速度:150攝氏度每秒,可以用于大4英寸晶圓或者100mm x 100mm尺寸樣品熱處理。RTP-100可以支持真空或高真空熱處理。

                        更新時(shí)間:2020-10-31

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                      • RTP-1200快速退火爐

                        RTP-1200快速退火爐 該儀器:尺寸小巧,使用風(fēng)冷、無(wú)須水冷,電流要求不高(3安培),性?xún)r(jià)比高,使用方便,非常適合科研院所的科研使用。

                        更新時(shí)間:2020-10-31

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